型號： Titan Themis3 G2 300

制造商： 美國Thermo Fisher公司（原荷蘭FEI公司）

主要技術指標：

1. 具有聚光鏡、物鏡雙球差校正器系統； 2. 具有電子槍單色器，電子槍加速電壓60～300KV； 3. TEM點分辨率優于0.08nm，STEM信息分辨率優于0.07nm； 4. EDS能量分辨率136eV，有效探測面積120mm2； 5. EELS能量分辨率：0.25eV（2.5mm光闌）； 6. 具備三維重構數據采集與分析系統； 7. 擁有電子全息數據采集與分析系統。

型號： Talos F200S

制造商： 美國Thermo Fisher公司（原荷蘭FEI公司）

主要技術指標：

1. 加速電壓：20～200kV； 2. 束斑尺寸：最小束斑0.3nm； 3. 分辨率：TEM信息分辨率≤0.12nm；點分辨率≤0.25nm；STEM分辨率0.16nm； 4. 放大倍數：TEM下25～1.05M倍；STEM下150～230M倍； 5. EDS能量分辨率≤136eV(Mn-Ka)； 6. 具備三維重構數據采集與分析系統。

型號： JEM-2100F

制造商： 日本電子株式會社（JEOL）

主要技術指標：

1. TEM分辨力：0.23nm（點），0.102nm(晶格)； 2. STEM分辨力：0.20nm（晶格）；最小束斑尺寸：0.5nm； 3. 放大倍數：TEM下50～1100萬倍，STEM下100～1100萬倍； 4. 加速電壓：160～200kV； 5. EDSX射線能量分辯力：132eV； 6. 元素分析范圍：B－U；分析感量：10-14～10-21g。

型號： Zeiss Ultra Plus

制造商： 德國卡爾·蔡司股份公司

主要技術指標：

1. 二次電子像分辨率：1.0nm（15kV），1.9nm（1kV）； 2. 電子槍：LaB6熱場發射電子槍； 3. 加速電壓：0.1～30kV； 4. 束流范圍：12-12～10-7A； 5. 圖像放大倍數：12～1000,000×（二次電子像），100～1000.000×（背散射電子像）。 附件： 1. X-Max 50型電致冷X射線能譜儀（EDS）（英國牛津儀器分析有限公司）； 2. HKL Max電子背散射衍射儀（EBSD）。